二极管刻蚀程序2


    二极刻蚀程序代码
    go athena
    line x loc0 spac01
    line x loc10 spac01
    line y loc0 spac001
    line y loc1 spac005
    line y loc2 spac01
    init silicon cboron10e10 orientation100 twod spacemult2
     
    OXIDE INITIAL001
     
    diffuse time30temperature1000 dryo2 press1
    RATEDEPO MACHINEPECVD NITRIDE DEPRATE1500 AM CVD STEPCOV75
    deposit nitride THICK05
    RATEETCH MACHINEWETETCH OXIDE WETETCH ISOTROPIC5 UM
    RATEETCH MACHINEWETETCH NITRIDE WETETCH ISOTROPIC1 UM
    ETCH NITRIDE LEFT P1X5
    ETCH OXIDE LEFT P1X5
    DEPOSIT OXIDE THICK05 DIV6 CPHOSPHORUS1e20
    DIFFUSE TIME30 TEMPERATURE1000 NITROGEN PRESS1
    ETCH OXIDE ALL
    ETCH NITRIDE ALL
    tonyplot
    quit
    go athena
    line x loc0 spac01
    line x loc10 spac01
    line y loc0 spac001
    line y loc1 spac005
    line y loc2 spac01
    init silicon cboron10e15 orientation100 twod spacemult2
     
    OXIDE INITIAL001
     
    diffuse time30temperature1000 dryo2 press1
    RATEDEPO MACHINEPECVD NITRIDE DEPRATE1500 AM CVD STEPCOV75
    deposit nitride THICK05
    RATEETCH MACHINEWETETCH OXIDE WETETCH ISOTROPIC5 UM
    RATEETCH MACHINEWETETCH NITRIDE WETETCH ISOTROPIC1 UM
    ETCH NITRIDE LEFT P1X5
    ETCH OXIDE LEFT P1X5
    DEPOSIT OXIDE THICK05 DIV6 CPHOSPHORUS1e20
    DIFFUSE TIME30 TEMPERATURE1000 NITROGEN PRESS1
    ETCH OXIDE ALL
    ETCH NITRIDE ALL
    tonyplot
    quit
    go athena
    line x loc0 spac01
    line x loc10 spac01
    line y loc0 spac001
    line y loc1 spac005
    line y loc2 spac01
    init silicon cboron10e15 orientation100 twod spacemult2
     
    OXIDE INITIAL001
     
    diffuse time40 temperature1500 dryo2 press2
    RATEDEPO MACHINEPECVD NITRIDE DEPRATE1500 AM CVD STEPCOV75
    deposit nitride THICK05
    RATEETCH MACHINEWETETCH OXIDE WETETCH ISOTROPIC5 UM
    RATEETCH MACHINEWETETCH NITRIDE WETETCH ISOTROPIC1 UM
    ETCH NITRIDE LEFT P1X5
    ETCH OXIDE LEFT P1X5
    DEPOSIT OXIDE THICK05 DIV6 CPHOSPHORUS1e20
    DIFFUSE TIME30 TEMPERATURE1000 NITROGEN PRESS1
    ETCH OXIDE ALL
    ETCH NITRIDE ALL
    tonyplot
    quit

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